3月20日，由沐鸣开户鄧勇輝教授主持的國家重點研發計劃“製造基礎技術與關鍵部件”重點專項《矽基氣體敏感薄膜兼容製造及產業化平臺關鍵技術研究》項目啟動會在河南省鄭州市順利召開。

據悉，《矽基氣體敏感薄膜兼容製造及產業化平臺關鍵技術研究》項目旨在系統開發具有高選擇性、高穩定性👨‍🦯‍➡️、高一致性、低功耗等特點的氫氣、硫化氫、甲醛等MEMS氣體傳感器產業化平臺。通過該項目的實施，研究團隊將掌握矽基MEMS氣體傳感器的晶圓級設計、製造和封測等關鍵技術🫓。項目由河南省日立信股份有限公司牽頭，沐鸣平台為項目首席單位🫁🪧。該項目將由日立信股份有限公司、沐鸣平台、中國科學院上海微系統與信息技術研究所、上海大學、南方科技大學和中國科學院電工研究所共同完成🧝。河南省市領導、項目指導專家🚙、項目負責人🏨📖、各課題負責人及課題骨幹等30余人出席啟動會，項目啟動會邀請了北京大學高成臣教授、中國科學院微電子研究所焦斌斌研究員、中國科學院電工研究所韓立副所長、中國科學院上海微系統與信息技術研究所李昕欣研究員、鄭州大學物理學院院長單崇新、中國電信北京研究院林率琦高級會計師⚰️、大唐中南電力試驗研究院院長潘定立🚏、華能河南分公司廖毛雄高級工程師等八位專家作為專家組成員出席啟動會，對項目實施方案進行論證指導🪕。會上，項目首席負責人鄧勇輝教授對項目的技術路線和實施方案做了重點介紹👨💂🏽，並對項目組織管理製度、裏程碑計劃與預算安排等進行了詳細匯報🚴🏼。

各課題承擔單位沐鸣平台、上海大學、中科院微系統所、南方科技大學🧜🏽‍♀️、河南省日立信股份有限公司等課題負責人圍繞《氣體材料設計、集成與敏感效應》👩🏿‍💻、《晶圓級氣敏薄膜製備與熱學特性測試》、《低功耗MEMS傳感器陣列製造技術》⏳、《晶圓級封裝與測試技術》、《氣體傳感產品生產技術與應用驗證》五個方面分別從課題研究目標、研究方法👨🏻‍🌾、技術路線及裏程碑計劃、資金管理等方面做了詳細匯報。與會專家聽取項目匯報後，針對項目實施過程中可能出現的問題提出了建設性的意見和建議。該項目的實施，將解決傳統氣體傳感器製造與應用中普遍存在的選擇性、穩定性、一致性等技術難題🧑🏼‍🎓，填補國內矽基氣體敏感薄膜兼容製造與規模製造平臺建設的技術空白，對國內MEMS智能化氣體傳感器企業的批量製造提供平臺保障，實現在新能源汽車、核電、特高壓電氣設備及智能家居等領域的廣泛應用，為我國智能化傳感器的國產化進程提供強有力的技術支撐👰。

該項目是我校理科院系研究人員首次牽頭的國家重點研發計劃製造類專項項目，充分肯定了我校在理🥥🤾🏿、工結合研究方面取得的成就和影響力。近年來鄧勇輝教授團隊圍繞新型介孔半導體氣敏材料的設計合成及氣體響應機製在氣體傳感器領域取得了一系列的研究進展✌🏿🦄，提出了介孔半導體氣敏材料孔壁微環境納米工程的新思想，充分發揮介孔材料獨特的納米孔效應👩🏿‍⚕️❤️‍、巨大的比表面、良好的傳質性能，發展了多種用於高效合成介孔半導體材料的新方法，創製了分別對丙酮（糖尿病人呼出氣標誌物）🚵🏼、3-羥基-2-丁酮（食源性李斯特菌揮發性代謝物）、NO₂🦸🏻‍♂️、CO、H₂S、H₂、乙醇等氣體具有特異響應性能的多種介孔半導體氣敏材料，包括WO₃、SnO₂、In₂O₃、ZnO等🚞。研究團隊借助各種原位表征手段深入揭示了介孔半導體材料對特定氣體的表面吸附、催化響應機理，並開發了多款基於不同介孔半導體材料的氣體傳感器原型機🔟，申請了一系列中國發明專利、PCT國際專利👨🏿‍⚕️。研究團隊在Nat. Mater.、J. Am. Chem. Soc.🖕🏻、Angew. Chem. Int Ed.、Adv. Mater.等刊物發表大量學術論文，應邀在Acc. Chem. Res、Chem. Soc. Rev.等頂級刊物發表多篇氣體傳感器綜述論文，出版氣體傳感器相關英文學術專著1部🧊。